技术要求：
1.货物名称：多功能冷冻原位分析系统数量(单位)：1套
2.采购标的需实现的功能或者目标，以及为落实政府采购政策需满足的要求
主要用于对材料样品表面形貌进行多功能、多维度超微观结构观察和成分分析，尤其可以对高分子薄膜类样品或者纳米化纤材料等，在原位力学拉伸情况下进行微观形变的分析。
3.采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求(技术指标要求)：
3.1电子光学系统
3.1.1电子枪：高稳定性肖特基热场发射电子枪，自动聚焦，有倾斜校正功能。
3.1.2放大倍数可调范围≥10~2,000,000倍,根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数可自动校准;
*3.1.3电子枪基本参数：
二次电子分辨率(15kV)：≤0.7nm;
基于无样品台减速模式下二次电子分辨率(1kV)：≤1.2nm;
基于无样品台减速模式下背散射电子分辨率(1kV)：≤1.2nm;
标准模式下加速电压和着陆电压可调范围均≥20V~30kV，加速电压以10V为步进连续可调;
3.1.4电子束流稳定性≤0.2%/h;
3.1.5能谱仪最佳分析工作距离条件下，电子束位移量≥180µm;
3.2样品室及样品台
*3.2.1样品仓与马达台：样品仓内部左右宽度≥355mm，前后进深≥355mm，高度≥270mm;配置五轴优中心马达驱动样品台，水平方向移动范围：X轴≥125mm，Y轴≥125mm;
3.2.2样品仓可扩展接口数量≥16个;
*3.2.3样品可360°旋转条件下，可装载样品直径尺寸≥240mm;样品高度≥45mm;
3.2.4马达台Z轴方向移动范围≥50mm，可双向倾斜，倾斜范围≥70°，可360°连续旋转;
3.2.5工作距离可调范围≥0.1mm~50mm;
*3.2.6能谱仪最佳分析工作距离≤9mm;
*3.2.7最大工作距离条件下，电子束成像视野范围≥60mm。
*3.2.8物镜光阑：7孔可变光阑，光阑具备自动坐标记忆功能，可通过软件自动控制光阑孔径更换。
3.3探测器
*3.3.1探测器不低于以下配置：
样品室内二次电子探测器;
镜筒内高分辨二次电子探测器;
镜筒内带能量选择功能的背散射电子探测器;
束流监测器;
样品室内彩色CCD探测器
3.3.2配置样品电流监测器或法拉第杯;
3.3.3电子束在同一位置扫描时，能够同时开启二次电子和背散射电子探测器同时成像，同时获得同一位置独立的二次电子图像和背散射电子图像，以及二者的混合像;
3.4全无油真空系统
3.4.1配置无油磁悬浮涡轮分子泵和离子泵;
3.4.2配置前级无油机械泵;
3.4.3样品室真空度优于2×10-4Pa,电子枪真空度可达10-7Pa数量级;
3.4.4自动抽真空：可完全自动控制气动真空阀;
3.5数字图像记录系统
*3.5.1图像扫描：无需拼图单幅图像存储分辨率≥24k×24k像素;
3.5.2图像记录格式：TIFF,BMP或JPEG;
3.6控制和数据处理系统
3.6.1可自动调节功能：搭配全新自动光路调节功能，可以实现快速自动聚焦、自动电子束对中功能，自动聚焦速度小于2S;同时还具有电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿等功能;
3.6.2具备帧平均扫描模式，并具备帧平均扫描模式漂移校正功能，方便处理不导电样品;
3.7电制冷高效能谱仪
3.7.1与扫描电镜配套使用，用于材料的微区成分分析;
3.7.2探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，不小于30mm2有效面积;
3.7.3能量分辨率：MnKa实测优于128eV;
3.7.4元素分析范围：Be～Cf。
*3.8含水样品冷冻处理系统：
冷阱温度：≤-75℃
冷阱体积：≥9L
真空解除功能：真空自动放气阀(可过滤≥0.2um的灰尘)
3.9原位拉伸系统
3.9.1载荷：≥5kN;力分辨率：≤1N
3.9.2典型试样尺寸：长度50至60mm，宽度最大10mm，厚度最厚5mm
3.10原位加热系统
3.10.1温度范围：室温~500℃
3.11技术配置
3.11.1场发射扫描电镜主机*1
主机包含：
电子光学系统*1
样品室及样品台*1
3.11.2探测器：
样品室内二次电子探测器;
镜筒内高分辨二次电子探测器;
镜筒内带能量选择功能的背散射电子探测器;
束流监测器;
样品室内彩色CCD探测器
3.11.3全无油真空系统*1
3.11.4数字图像记录系统*1
3.11.5控制和数据处理系统*1
3.11.6电制冷高效能谱仪*1
3.11.7含水样品冷冻处理系统*1
3.11.8原位拉伸系统*1
3.11.9原位加热系统*1
4.采购标的其他要求
4.1样品要求
无
4.2演示要求
无
4.3现场勘查要求
勘察现场：是()否(√)
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