东方国际招标有限责任公司（以下简称“招标机构”）受招标人委托，对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2021-11-12在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1、招标条件

项目概况：湿法设备16台/套

资金到位或资金落实情况：已落实

项目已具备招标条件的说明：已具备

2、招标内容

招标项目编号：0729-214OIT321806/01

招标项目名称：无锡物联网创新中心有限公司湿法设备采购项目

项目实施地点：中国无锡市

招标产品列表(主要设备)：

序号

产品名称

数量

简要技术规格

备注

1

金属前湿法清洗

1

用于8英寸硅晶圆的湿法清洗工艺

最高限价人民币5250万元

2

KOH湿法

1

用于8英寸硅晶圆的湿法KOH清洗工艺

3

LIFTOFF湿法

1

Lot进出时温度波动范围：≤2℃

4

金属湿法刻蚀Al

1

晶圆破片率：≤ 1 /100000

5

金属湿法刻蚀（Au、Cr）

1

机台设计时需充分考虑六价Cr的危害和防护

6

BOE湿法腐蚀

1

自动配液功能：H2SO4:H2O2=5：1~8:1（体积比）

7

HF Release释放

1

工艺温度设定范围：35~80℃

8

湿法腐蚀清洗

1

补液功能：可根据时间或Lot自动补充H2O2

9

湿法去胶机

1

工艺温度波动范围：≤2℃

10

栅氧前湿法清洗

1

设备须配置离子发生器以消除设备内部的静电

11

水平式石英炉管清洗机

2

外观尺寸：<3400mmW*2700mmD*3500mmH.

内腔尺寸：>1600mmW*450mmD*450mmH.

12

湿法辅材清洗机

4

腔室数量：要求一个机台有两个独立的腔室

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩：无

是否接受联合体投标：不接受

未领购招标文件是否可以参加投标：不可以

4、招标文件的获取

招标文件领购开始时间：2021年11月12日

招标文件领购结束时间：2021年11月19日

是否在线售卖标书：否

获取招标文件方式：电子下载

招标文件领购地点：www.o-science.com

招标文件售价：￥800/$150

其他说明：登录东方在线www.o-science.com注册并购买。

5、投标文件的递交

投标截止时间（开标时间）：2021-12-03 13:30

投标文件送达地点：无锡市菱湖大道200号E2栋112二楼大会议室

开标地点：无锡市菱湖大道200号E2栋112二楼大会议室

6、投标人在投标文件的递交截至时间前1天务必在机电产品招标投标电子交易平台上（https://www.{wz_now）完成注册及信息核验。评标结果将在中国国际招标网和机电产品招标投标电子交易平台公示。

7、联系方式

招标人：无锡物联网创新中心有限公司

地址：无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112

联系人：王利民

联系方式：0510-85378880

招标代理机构：东方国际招标有限责任公司

地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室

联系人：窦志超、张伟

联系方式：010-68290502

电子邮箱：zcdou@oitc.com.cn

8、汇款方式

开户名：东方国际招标有限责任公司

开户银行（人民币）：北京招商银行西三环支行

帐 号（人民币）：862081657710001

开户银行（美元）：交通银行北京分行阜外支行

NAMEOF THE COMPANY：